XPS-7半導(dǎo)體材料氣體檢測儀
一、產(chǎn)品介紹
1、只要更換傳感器單元就可以檢測各種對象氣體。
2、用盒式傳感器單元無需進行氣體檢測器校正。
3、可以大幅度削減本錢和維護時間。
二、產(chǎn)品參數(shù)
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型號 |
XPS-7 |
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檢測原理 |
定電位電解式 |
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檢測氣體對象 |
半導(dǎo)體材料氣體 |
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丈量范圍 |
根據(jù)規(guī)格 |
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分解能 |
全量程的百分之一表示 |
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指示精度 |
FS±10%以內(nèi) |
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報警模式 |
2段報警方式 |
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報警方式 |
蜂叫器(斷續(xù)音)、報警燈閃爍 |
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應(yīng)答時間 |
60秒以內(nèi)(60%應(yīng)答) |
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電源 |
5號堿性干電池4節(jié)或AC變壓器 |
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電池使用時間 |
連續(xù)12小時以上（使用堿性干電池無報警、20℃時） |
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外型尺寸 |
W62×H150×D128mm(部分除外) |
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檢測方式 |
泵吸引式 |
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使用溫度范圍 |
0℃～40℃ |
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重量 |
約1.3kg |
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附件 |
肩背皮帶、5號堿性干電池4節(jié)、過濾紙2張 |
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選購件 |
AC變壓器、傳感器通電臺、數(shù)據(jù)收集配套元件 |
三、檢測氣體表：
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對象氣體一覽表 |
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型號 |
氣體 |
F.S |
型號 |
氣體 |
F.S |
型號 |
氣體 |
F.S |
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XDS-7NH |
NH3 |
100ppm |
XDS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
XDS-7HS |
H2S |
50ppm |
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XDS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
XDS-7CL |
CL2 |
5ppm |
XDS-7CO |
CO |
250ppm |
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XDS-7DC |
SiH2CL2 |
25ppm |
XDS-7CF |
CLF3 |
1ppm |
XDS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
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XDS-7AH |
AsH3 |
250ppb |
XDS-7HC |
HCL |
25ppm |
XDS-7F2 |
F2 |
5ppm |
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XDS-7PH |
PH3 |
1ppm |
XDS-7HF |
HF |
10ppm |
XDS-7OZ |
O3 |
1ppm |
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XDS-7BH |
B2H6 |
500ppb |
XDS-7HB |
HBr |
10ppm |
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XDS-7SE |
H2Se |
250ppb |
XDS-7NO |
NO |
100ppm |
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XPS-7半導(dǎo)體材料氣體檢測儀
